四探針測試儀 四探針分析儀 四探針測量儀
型號:DL07-RTS-4
測量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展); 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展); 電導率:0.005~1000 s/cm; 電阻:0.001~200Ω.cm;可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;四探針探頭基本指標 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力);模擬電阻測量相對誤差 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 ( 按JJG508-87進行)
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